無塵車間潔凈室性能評定標(biāo)準(zhǔn)

無塵車間潔凈室風(fēng)量和風(fēng)速可參考下列標(biāo)準(zhǔn)：

①亂流無塵車間潔凈室

a.系統(tǒng)的各項實測風(fēng)量及換氣次數(shù)應(yīng)大于各自的設(shè)計風(fēng)量或換氣次數(shù)，但不應(yīng)超過20%。在工藝無特殊要求時，換氣次數(shù)應(yīng)符合設(shè)計要求。

b.室內(nèi)各風(fēng)口的風(fēng)量與各風(fēng)口設(shè)計風(fēng)量之差均不應(yīng)超過設(shè)計風(fēng)量的±15%。

略小者調(diào)整后可測定。為達到風(fēng)量穩(wěn)定和節(jié)能，宜使用變頻風(fēng)機。

②單向流無塵車間潔凈室

a.0.8m工作面高度截面平均風(fēng)速應(yīng)符合設(shè)計要求。

b.實測室內(nèi)平均風(fēng)速應(yīng)大于設(shè)計風(fēng)速，但不應(yīng)超過20%。

C.實測室內(nèi)新風(fēng)量應(yīng)大于設(shè)計新風(fēng)量，但不應(yīng)超過20%。

工作面風(fēng)速不均勻度按下式計算，結(jié)果應(yīng)不大于0. 25。

式中βν，風(fēng)速不均勻度；

νi，任一點實測風(fēng)速 ;

u，平均風(fēng)速；

n，測點數(shù)。

無塵車間潔凈室靜壓差可參考下列標(biāo)準(zhǔn):

①壓差值應(yīng)符合設(shè)計和GMP要求。

②潔凈度為5級或更高的單向流潔凈室，開門狀態(tài)下的出入口的室內(nèi)側(cè)0.6m處不應(yīng)測出超過室內(nèi)級別上限的濃度(據(jù)《潔凈室施工及驗收規(guī)范》。

③有不可關(guān)閉開口(如傳送帶通過口)兩邊的潔凈室，不論同級與否，按《潔凈室施工及驗收規(guī)范》，開口要求從一室流向另一室的風(fēng)速(方向由設(shè)計或工藝確定)，不應(yīng)小于0. 25 m/S。該室與其他相鄰環(huán)境的壓差仍應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。

如有排風(fēng)，應(yīng)是排風(fēng)全開的結(jié)果。

靜壓偏低時可調(diào)整室內(nèi)回風(fēng)口，檢查新風(fēng)口。如洞口風(fēng)速不足，可考慮適當(dāng)縮小開口。至少應(yīng)保證空氣流向符合要求，注意調(diào)整后應(yīng)重新檢測該系統(tǒng)各風(fēng)口送風(fēng)量。

無塵車間潔凈室空氣潔凈度級別符合規(guī)定，并應(yīng)按下列公式和規(guī)定計算。

①按下列公式計算≥0.5 μm和≥5 μm兩種微粒室平均含塵濃度N和各測點平均含塵濃度C；的標(biāo)準(zhǔn)誤差：

②判斷潔凈度級別時，應(yīng)計算到小數(shù)后1位,按0.1級遞增。

③應(yīng)對≥0. 5 μm和≥5 μm微粒進行同樣的計算和評價。

④在采樣點只有1個，或多于9個時，不用95%置信上限的室平均統(tǒng)計值方法，而直接用點平均濃度評價。

⑤計算中至多允許把一個測量值排除在外，這是ISO14644 - 1和《潔凈室施工及驗收規(guī)范》都提出的。中凈環(huán)球凈化可提供無塵車間、凈化工程的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

⑥如果發(fā)現(xiàn)各點之間濃度值差異太大，應(yīng)適當(dāng)多測1-2點，否則，室平均統(tǒng)計值有超標(biāo)的危險。

無塵車間潔凈室室內(nèi)空氣溫度、相對濕度可參考下列標(biāo)準(zhǔn):

②           無恒溫要求的場所：溫度和相對濕度符合設(shè)計的要求。

②有恒溫恒濕要求的場所：90%以上測點都達到的，各測點各次溫度偏離控制點的較大值，為該室室溫波動范圍，應(yīng)不超過設(shè)計要求；90%以上測點都達到的，各測點平均溫度與各測點中較低一次溫度的偏差值，為該室區(qū)域溫度，應(yīng)不超過設(shè)計要求。

相對濕度波動范圍可按室溫波動范圍的原則確定。

如果檢驗報告不是冬夏較不利條件下的檢測報告，應(yīng)查閱企業(yè)自檢記錄，尚無自檢記錄則在冬季和夏季較不利環(huán)境條件下重新測定。

無塵車間潔凈室室內(nèi)噪聲平均值應(yīng)符合被測對象的噪聲控制標(biāo)準(zhǔn)的要求。沒有控制標(biāo)準(zhǔn)時，可參考以下數(shù)值：單向流潔凈室應(yīng)不高于65 dB(A)，又有單向流又有非單向流的混合流潔凈室，局部單向流區(qū)不高于65 dB(A) ,非單向流區(qū)不高于63 dB(A)。

各測點數(shù)據(jù)應(yīng)接近，如平均值達標(biāo)，而某點超標(biāo)較明顯，則應(yīng)檢查噪聲源。

無塵車間潔凈室室內(nèi)一般照明的工作面上較低照度值和照度均勻度(即工作面上較低照度值與平均照度值之比)應(yīng)符合被測對象的照度控制標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)計要求。沒有控制標(biāo)準(zhǔn)時，可參考以下數(shù)值：主要工作室較低照度應(yīng)不低于300 lx，其他輔助房間不低于100 lx。

當(dāng)要對單向流特性進行深入確認(rèn)時，可測流線平行性。在工作區(qū)內(nèi)氣流流向偏離規(guī)定方向的角度不大于15。

室內(nèi)浮游菌和沉降菌的各點平均值應(yīng)符合GMP要求。

表面導(dǎo)靜電性能的表面電阻值和漏泄電阻應(yīng)符合被測對象的靜電控制標(biāo)準(zhǔn)的要求。沒有控制標(biāo)準(zhǔn)時，表面電阻值應(yīng)為1.0×10⁷ ~ 1.0×10¹⁰ Ω漏泄電阻應(yīng)為1.0X10⁵~1.0X10⁸Ω。

當(dāng)對氣流組織和室內(nèi)潔凈度的相關(guān)性有質(zhì)疑，或出于需要快捷排除污染可能變更風(fēng)口位置時，可測氣流流型進一步確認(rèn)，并應(yīng)繪出流型圖和給出分析意見。

實測自凈時間不應(yīng)大于計算自凈時間的1.2倍。

當(dāng)對不同潔凈度區(qū)域之間，或?qū)ν粎^(qū)域內(nèi)局部百級區(qū)與周邊區(qū)之間是否存在明顯氣流交換有質(zhì)疑時，或即使是同一潔凈度房間之間也應(yīng)有定向氣流時，或者對已發(fā)生交叉污染區(qū)域需進一步查明原因時，可做定向流檢驗予以確認(rèn)或否認(rèn)，并應(yīng)繪出流動方向和給出分析意見。

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