防止?jié)崈羰壹跋嚓P(guān)受控環(huán)境的空氣分子污物

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣分子污物，不外乎來(lái)自于室外空氣和室內(nèi)設(shè)施、工藝和人員等方面。在工程設(shè)計(jì)和制定控制要求的初始階段和設(shè)施運(yùn)行過(guò)程中，須了解、掌握這些發(fā)生源的規(guī)律和參數(shù)，以便根據(jù)生產(chǎn)、工藝、科研的需要，采取相應(yīng)有效的措施，將室內(nèi)環(huán)境分子的濃度控制在允許值以下，為此需要進(jìn)行以下一些工作。

1.確定分子控制等級(jí)及ISO-AMC

對(duì)于某個(gè)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境而言，確定其空氣分子控制等級(jí)是設(shè)計(jì)、建造和運(yùn)行管理的重要前提條件。只有明確了此項(xiàng)參數(shù)，才有可能創(chuàng)建符合工藝、產(chǎn)品所須的室內(nèi)環(huán)境，進(jìn)而保障工藝的正常過(guò)程和產(chǎn)品的質(zhì)量。

首先，要明確產(chǎn)品或工藝是否受空氣分子污物的影響，及其影響程度。以集成電路為例，在集成度較低時(shí)，晶圓片直徑較小、電路上的線寬尺寸較大、生產(chǎn)工藝較簡(jiǎn)單、工序較少，當(dāng)時(shí)空氣環(huán)境的塵粒潔凈度是影響產(chǎn)品質(zhì)量的主要因素。那時(shí)空氣環(huán)境中并不是不存在空氣分子污物，只是當(dāng)時(shí)集成度較低，空氣分子并不足以影響產(chǎn)品的品質(zhì)。而隨著集成電路工藝的飛速提升，集成度急劇增加，盡管生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度相應(yīng)升級(jí)，但新產(chǎn)品的成品率并不理想。經(jīng)過(guò)對(duì)產(chǎn)品工藝和環(huán)境等相關(guān)因素的反復(fù)深入剖析后，才確定空氣環(huán)境中的某些分子污物是重要的制約因素。

由此可知，客觀存在于空氣中的空氣分子污物并不是在任何情況下都會(huì)成為控制的對(duì)象。在許多行業(yè)生產(chǎn)中，空氣分子對(duì)工藝產(chǎn)品并無(wú)明顯的影響，但對(duì)于某些行業(yè)，根據(jù)所積累的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和產(chǎn)品質(zhì)量剖析得知，當(dāng)某些空氣分子污物達(dá)到一定濃度限值以上，就會(huì)影響工藝和產(chǎn)品質(zhì)量。那么建設(shè)單位就應(yīng)按照需要，采取相應(yīng)的技術(shù)措施，以保障生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量。為此須確定影響產(chǎn)品或工藝的類(lèi)別，以及是否需要特殊關(guān)注某種或某類(lèi)空氣分子污物及其濃度。在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步根據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)或生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)確定產(chǎn)品或工藝所允許的污物(類(lèi)別、物質(zhì)組)的較大濃度，并按相關(guān)規(guī)定確定其控制等級(jí)和該場(chǎng)所空氣環(huán)境的ISO-AMC描述符等。

2.空氣分子污染源

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣分子污染物來(lái)源不外乎以下方面：

（1）.室外空氣

室外空氣作為新風(fēng)提供給潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境，以滿足設(shè)施內(nèi)人員對(duì)新鮮空氣的需要，并用以平衡排風(fēng)、正壓泄露所需補(bǔ)充的空氣，這是多數(shù)場(chǎng)所共同面對(duì)的情況。隨著室外大氣環(huán)境問(wèn)題日趨嚴(yán)重，新風(fēng)中所含多種氣體分子污物濃度也日漸增大，對(duì)某些工藝和產(chǎn)品質(zhì)量的威脅日趨嚴(yán)重。例如，微電子、光電子(TFT，LCD，LED) 等工廠要求清除或降低新風(fēng)中的硫、氮、氨及氨的化合物等氣體分子污物，以保障產(chǎn)品質(zhì)量。

與室外空氣溫濕度相比較，室外空氣分子污物的類(lèi)別及其濃度更為復(fù)雜多變。不同地域、不同的周邊環(huán)境、不同的季節(jié)、不同的時(shí)辰，室外新風(fēng)所含各種空氣分子的濃度都有變化，甚至變化很大。特別是我國(guó)正處在工業(yè)化、城市化的急速發(fā)展的進(jìn)程中，盡管不斷強(qiáng)化環(huán)保工作，但在許多地方大氣環(huán)境仍日趨嚴(yán)重。多數(shù)地區(qū)還不能提供完整的大氣空氣分子的檢測(cè)資料，更何況這些數(shù)據(jù)還因?yàn)樾鹿S、新工地、新道路如同雨后春筍般冒出，而持續(xù)地刷新。潔凈室與相關(guān)受控環(huán)境設(shè)施在選址時(shí)，要盡可能遠(yuǎn)離工廠、發(fā)電廠、水處理廠等企業(yè)，遠(yuǎn)離機(jī)場(chǎng)、鐵路和交通干道，以盡量減少室外空氣污物的影響。

對(duì)需要防止空氣分子污物的潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境，應(yīng)按照相關(guān)規(guī)定的要求，策劃人員、設(shè)計(jì)人員和管理人員“需要用足夠長(zhǎng)的時(shí)間進(jìn)行建設(shè)地點(diǎn)所關(guān)注的空氣分子污物濃度分析，以便評(píng)估其變化情況，還要考慮到將來(lái)可能出現(xiàn)的室外空氣的變化?！?/span>

此外相關(guān)的規(guī)定還指出：“有些場(chǎng)所通過(guò)對(duì)主導(dǎo)風(fēng)向和污染源等因素的分析，合理地選擇新風(fēng)口位置，可以減小分子污物的濃度?！睆臐崈羰壹跋嚓P(guān)受控環(huán)境運(yùn)行及維護(hù)管理的角度出發(fā)，了解并掌握室外空氣污物可能對(duì)所負(fù)責(zé)環(huán)境的不同部位、不同季節(jié)的不同影響，制訂相應(yīng)的技術(shù)措施以保障室內(nèi)工作或生產(chǎn)環(huán)境達(dá)標(biāo)。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈室、凈化工程的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

（2）.建筑材料室內(nèi)污染

隨著化學(xué)工業(yè)的進(jìn)步，建筑物中純天然建筑材料所占份額越來(lái)越少，代之以質(zhì)地、性能可能更好、工業(yè)化生產(chǎn)便利、價(jià)格相對(duì)低廉的合成建筑材料，以滿足城市化和工業(yè)建筑對(duì)建材的需求。但與此同時(shí)也帶來(lái)了因化學(xué)合成建筑材料在室內(nèi)緩釋多種特殊氣體，造成了室內(nèi)環(huán)境的污染。

各種人造板材、纖維板、膠合板、刨花板、復(fù)合石膏板材以及在工業(yè)建筑中大量采用的金屬夾心板材(內(nèi)夾玻璃棉板、巖棉板、聚苯乙烯板、聚氨酯、鋁或紙蜂窩等保溫隔熱加固成型材料)，在制作成型的工藝過(guò)程中，往往都要使用大量的膠粘劑。用這些材料作為建筑物的隔斷、吊頂或制作成家具，都將會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間向室內(nèi)緩釋甲醛等有機(jī)揮發(fā)物。高效空氣過(guò)濾器在成型及與框架密合時(shí)，也需要使用大量的化學(xué)膠，它們也會(huì)向室內(nèi)散發(fā)有機(jī)溶劑等分子污物。

（3）.其他室內(nèi)污染

除生產(chǎn)工藝以外，室內(nèi)其他污染源還包括電腦打印、復(fù)印等各種電子辦公設(shè)備散發(fā)的溶劑、氨等臭氣。對(duì)于民用的住宅、公共建筑等，以保護(hù)人群的健康、舒適等為目標(biāo)，所關(guān)注的室內(nèi)空氣品質(zhì)(IAQ)，主要是通過(guò)控制室內(nèi)污染源，并合理增大自然通風(fēng)或用機(jī)械通風(fēng)方式，以室外空氣稀釋室內(nèi)污物，一般來(lái)說(shuō)就可以達(dá)標(biāo)。而對(duì)于微電子等現(xiàn)代工業(yè)的生產(chǎn)車(chē)間和某些科研場(chǎng)所，即便是達(dá)到了民用“環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)”的室外新風(fēng)，其中的某些空氣懸浮分子污物仍將嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量或工藝過(guò)程，因此必需配備適宜的氣相空氣凈化裝置以保障室內(nèi)的生產(chǎn)環(huán)境。

3.運(yùn)行和維護(hù)

常見(jiàn)制度如下：

(1)工藝作業(yè)中佩戴面罩或佩戴有通風(fēng)過(guò)濾的頭盔；

(2)對(duì)服裝及包裝材料進(jìn)行合格的化學(xué)分析；

(3)對(duì)清潔劑與其他清潔材料進(jìn)行合格的化學(xué)分析；

(4)對(duì)所有產(chǎn)品包裝材料進(jìn)行合格的化學(xué)分析；

(5)使用任何便攜設(shè)備或臨時(shí)性材料時(shí)盡量減少分子污染的作業(yè)制度；

(6)在設(shè)備維護(hù)或修理及服務(wù)期間，采用臨時(shí)隔離屏障；

(7)為盡量減少分子污染制定相應(yīng)的操作規(guī)程。

對(duì)于人員通過(guò)規(guī)章制度對(duì)下述各項(xiàng)進(jìn)行控制，能防止或盡量減少來(lái)自人員的分子污染：

(1)化妝品、香水和護(hù)發(fā)用品的使用；

(2)吸煙的規(guī)定；

(3)對(duì)某些食品的食用；

(4)進(jìn)出規(guī)則；

(5)用于個(gè)人的清潔和滅菌材料。

上列各項(xiàng)并非全部。

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